Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 54 Заглавие : Метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 24-30: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 30 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Предложен метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем. Рассмотрены пути симметрирования тепловых потоков и геометрических, физико-химических характеристик элементов конструкции при воздействии симметричного и асимметричного относительно оси упругого элемента НиМЭМС нестационарного температурного поля. Предложены конкретные реализации их элементов конструкций Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН