Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 59 Автор(ы) : Гусев Д. В., Данилова Н. Л., Панков В. В., Суханов В. С. Заглавие : Микроэлектронные преобразователи давления для средств регулирования и мониторинга технологических процессов в энергосберегающих системах Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 43-45: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 45 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассматриваются конструкции микроэлектронных преобразователей давления, выполненных на базе кремниевых структур. Приведена конструкция, обеспечивающая защиту микроэлектронного преобразователя от воздействия окружающей среды, а также варианты использования в системах теплоавтоматики Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Гусев, Д. В.; Данилова, Н. Л.; Панков, В. В.; Суханов, В. С.