Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 25 Автор(ы) : Раткин Л. С. Заглавие : Проблемы стандартизации и метрологического обеспечения в нано-и микроэлектронике Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 2-3. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 3 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: В середине 2010 года при поддержке ГК "Российская корпорация нанотехнологий" и Федеpального агентства по техническому регулированию и метрологии в г. Черноголовка Московской области была организована и проведена Третья школа "Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии". В числе наиболее актуальных проблем, обсуждавшихся на сессиях - особенности метрологического обеспечения и стандартизации в микро- и наноэлектронике Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН