Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 38 Автор(ы) : Синев Л. С., Рябов В. Т. Заглавие : Согласование коэффициентов термического расширения при эдектростатическом соединении кремния со стекдом Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 5. - С. 24-27: рис., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 27 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрены напряжения, возникающие в деталях из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая графически определить оптимальную температуру доведения соединения. Даны рекомендации по выбору температуры доведения процесса соединения Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Рябов, В. Т.