Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 97 Автор(ы) : Аравин В. В., Вернер В. Д., Сауров А. Н., Мальцев П. П. Заглавие : МЭМС высокого уровня - возможный путь развития МЭМС в России Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 28-31: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 31 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: На основе анализа тенденций развития МЭМС предлагается использование концепции МЭМС высокого уровня как ведущего направления разработок и производства МЭМС в России Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Аравин, В. В.; Вернер, В. Д.; Сауров, А. Н.; Мальцев, П. П.