Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Д 40 Автор(ы) : Джашитов В. Э., Панкратов В. М. Заглавие : Суперминиатюрный микромеханический датчик инерциааьной информации в условиях тепловых воздействий Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 18-23: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 23 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Построены и исследованы математические модели тепловых процессов суперминиатюрного (объем 0,2 мм3) микромеханического датчика инерциальной информации. Разработано поддерживающее программное обеспечение, позволяющее решать задачи расчета, анализа и визуализации нестационарных температурных полей датчика, веден качественный и количественный анализ влияния внешних и внутренних тепловых воздействий на температурные поля датчика, показана возможность убавления этими полями. Полученные данные позволят создать суперминиатюрный микромеханический гироскоп с заданными свойствами и инвариантный к тепловым воздействиям Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Панкратов, В. М.