Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 97 Автор(ы) : Войцеховский А. В., Несмелов С. Н., Кульчицкий Н. А., Мельников А. А. Заглавие : МЭМС-детекторы инфракрасного диапазона Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 42-49: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 49 (39 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрены особенности технологии создания микpоэлектpомеханических систем на основе неохлаждаемых тепловых детекторов инфракрасного диапазона, а также параметры дискретных и матричных детекторов данного типа. Особое внимание уделяется новому типу тепловых детекторов - микрокантилеверам с электрическим и оптическим считыванием Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Войцеховский, А. В.; Несмелов, С. Н.; Кульчицкий, Н. А.; Мельников, А. А.