Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 51 Автор(ы) : Смолин В. К., Герасимов В. А. Заглавие : Возможности оценки качества металлизации по стойкости к электромиграции Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 17-20: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 20 (17 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрены вопросы, связанные с методами оценки качества тонкопленочной металлизации по стойкости к электрическим нагрузкам с высокой плотностью тока. Показаны особенности применения при операционном контроле металлизации детерминированных электрических импульсов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Герасимов, В. А.