Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 92 Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г.И., Жвавый С. П. Заглавие : Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 1. деформированный якорь Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 47-50: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 50 (9 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования упругих подвижных элементов. Исследованы варианты с упругодеформированным якорем в объемном и планарном конструктивном исполнении. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Ефремов, Г.И.; Жвавый, С. П.