Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 77 Автор(ы) : Прищепов С. К., Власкин К. И. Заглавие : Интегральные и гибридные технологии производства феррозондовых датчиков Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 2-4: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 4 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрены методы минимизации основной погрешности направленности дифференциальных феррозондов углового смещения физической оси чувствительности относительно геометрической. Определены принципы совмещения обмоток и магнитопроводов феррозондов для выполнения прецизионных чувствительных элементов модульного типа. Представлены особенности гибридных и интегральных технологий изготовления феррозондовых датчиков Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Власкин, К. И.