Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/В 19 Автор(ы) : Васильев В. А., Громков Н. В. Заглавие : Датчики давления с частотным выходом на основе нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 19-24: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 24 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Поступила в редакцию 12.05.2011 Рассмотрены датчики давления с частотным выходным сигналом на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика и схемы частотных преобразователей Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Громков, Н. В.