Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 92 Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г.И., Жвавый С. П. Заглавие : Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 2. деформированные держатели Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 25-28: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 28 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Исследованы варианты электростатических микрореле с упругодеформированными держателями в объемном и планарном конструктивном исполнении. Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования держателей. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Ефремов, Г.И.; Жвавый, С. П.