Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Г 59 Автор(ы) : Годовицын И. В. Заглавие : Перспективная конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 2-8: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 8 (32 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Предлагается конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления на КНИ-структуре. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из полиметаллического кремния, что позволяет совместить в конструкции достоинства традиционных и миниатюрных преобразователей давления - высокую чувствительность и маленькие габаритные размеры. Доведен расчет основных параметров преобразователя с помощью конечно-элементного моделирования. Доведен анализ параметров предложенного преобразователя в сравнении с преобразователями других типов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН