Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Васильев В. А., Громков Н. В. Заглавие : Совершенствование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 27-33: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 33 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрены возможности улучшения характеристик тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков на их основе в условиях воздействия нестационарных температур Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Васильев , В. А.; Громков, Н. В.