Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 38 Автор(ы) : Соколов Л. В., Парфенов Н. М. Заглавие : Технологические особенности формирования трехмерных МЭМС Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 19-26: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 18 (13 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Обобщены и проанализированы современные достижения в области исследований и разработки различных физико-химических процессов травления монокристаллического кремния для формирования объемных микромеханических структур, показаны основные тенденции развития сенсорови МЭМС-устройст Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Парфенов, Н. М.