Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Н 25 Автор(ы) : Куприянов Л. Ю., Рогинская Ю. Е., Козлова Н. В., Политова Е. Д., Кальнов В. А., Жихарев Е. Н. Заглавие : Наноструктура тонких пленок композита кремний - углерод, полученных методом магнетронного распыления Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 9-10. - С. 120-124: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 124 (16 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Методом послойного магнетронного распыления получены тонкие пленки нанокомпозита кремний - углерод. Толщина пленок составляет 110-470 нм, и они имеют слоистую наноструктуру, образованную слоями кремния и углерода толщиной 7-10 нм каждый. Рентгенографические исследования показали присутствие в составе пленок кристаллической фазы карбида кремния, образующегося на границах слоев. Спектры зеркального отражения в диапазоне 200-2500 нм содержат ряд максимумов, которые могут быть отнесены к спектрам поглощения аморфного кремния, аморфного углерода и разупорядоченного карбида кремния. Особенности спектров ИК поглощения указывают на возможность образования графеновых фаз низкой размерности в области контактов слоев кремния и углерода. Сделан вывод, что изученные пленки могут рассматриваться как перспективная база для разработки электродов литиевых батарей с улучшенными характеристиками Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Куприянов, Л. Ю.; Рогинская, Ю. Е.; Козлова, Н. В.; Политова, Е. Д.; Кальнов, В. А.; Жихарев, Е. Н.