Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 33 Автор(ы) : Суханов В. С., Панков В. В., Годовицын И. В., Михайлов Ю. А., Данилова Н. Л., Землянников Н. С. Заглавие : Тензорезистивный кремниевый МЭМС-преобразователь давления мембранного типа Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 36-37: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 37 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Описана конструкция кремниевого интегрального преобразователя давления мембранного типа с тремя жесткими центрами, изготовленного по групповой интегральной технологии размером 6,2 x 6,2 мм. Проведено моделирование чувствительного элемента (ЧЭ) давления с помощью ПО ANSYS методом конечных элементов. Представлена трехмерная модель чувствительного элемента давления с иллюстрацией механических напряжений и деформации мембраны чувствительного элемента. ЧЭ реализован в макетном образце первичного преобразователя давления, представлены характеристики макетного образца Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Суханов, В. С.; Панков, В. В.; Годовицын, И. В.; Михайлов, Ю. А.; Данилова, Н. Л.; Землянников, Н. С.