Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 59 Автор(ы) : Козин И. А., Постников А. В., Морозов О. В. Заглавие : Исследование динамики микроэлектромеханических устройств с нанесенной металлизацией Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 43-45: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 45 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Исследуется влияние тонкой пленки алюминия 0,3 мкм на динамические характеристики микроэлектромеханического устройства с двумя вращательными степенями свободы. Определены собственные частоты и добротности механической колебательной системы устройства. В работе обнаружено влияние способа крепления устройства к механической системе возбуждения. Показано, что добротность устройства с металлизацией достигает 15-20 тысяч, что достаточно для работы прибора в приложениях, и позволяет сократить число технологических операций при изготовлении Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Постников, А. В.; Морозов, О. В.