Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 76 Автор(ы) : Тимошенков С. П., Гаев Д. С., Бойко А. Н., Горшкова Н. М. Заглавие : Применение пористого кремния при создании газопоглощающих структур в составе МЭМС Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 35-38: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 38 (17 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассматриваются способы применения пористого кремния при создании газопоглощающих структур в составе микроэлектромеханических систем. Предлагаемые способы позволяют создавать газопоглощающие структуры с высоким значением эффективной поверхности и сорбционной емкости, совместимые с технологиями микросистемной техники Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Тимошенков, С. П.; Гаев, Д. С.; Бойко, А. Н.; Горшкова, Н. М.