Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 88 Автор(ы) : Назарова Т. Н., Сергиенко Д. В., Петров В. В., Кравченко Е. И. Заглавие : Исследование физико-химических, эаектрофизических свойств и газочувствитеаьных характеристик нанокомпозитных пленок состава SiO2ZrOx Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 38-42: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 42 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрено формирование тонких пленок газочувствительного материала состава SiO2ZrOx золь-гель методом. Было проведено исследование их физико-химических и электрофизических свойств, а также изучены газочувствительные характеристики. Определено, что сенсор газа, изготовленный на основе пленок газочувствительного материала состава SiO2ZrOx, проявляет селективную чувствительность к диоксиду азота в диапазоне рабочих температур 30...200 °С Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Назарова, Т. Н.; Сергиенко, Д. В.; Петров, В. В.; Кравченко, Е. И.