Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 73 Автор(ы) : Благов Е. В., Аравин В. В., Амеличев В. В., Гаврилов Р. О. Заглавие : Интегрированная наноэлектромеханическая система параметров движения Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 46-48: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 48 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Представлены результаты исследования конструктивно-технологических узлов для реализации интегрированных наноэлектромеханических систем. Рассмотрены методы создания миниатюрного магнитного диполя на основе магнитожестких пленок Co80Ni20 и Fe19Ni81 Исследована зависимость чувствительности тонкопленочного магниторезистивного преобразователя от тока в управляющем проводнике Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Благов, Е. В.; Аравин, В. В.; Амеличев, В. В.; Гаврилов, Р. О.