Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 59 Автор(ы) : Козлов А. Г. Заглавие : Тепловые микросенсоры: конструктивные особенности Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 16-28: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 26-28 (80 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тепловые микросенсоры--теплогенерирующие элементы--пленочные проводники