Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Ф 79 Автор(ы) : Симаков В. В., Синев И. В., Смирнов А. В., Сякина С. Д., Гребенников А. И., Кисин В. В. Заглавие : Формирование пленок диоксида олова с вертикально ориентированными нанопорами Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 3. - С. 45-46: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498 Примечания : Библиогр. : с. 46 (назв. 5) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Показана возможность получения методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления покрытий из оксида олова, перспективных для широкого применения. Слои наноструктурированы, насыщены открытыми порами, ориентированными перпендикулярно подложке. Предложен механизм формирования покрытий, при котором размеры зерен определяются плотностью зародышеобразования. Показано, что плотностью зародышеобразования кристаллитов можно управлять, меняя рабочее давление в вакуумной камере Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Симаков, В. В.; Синев, И. В.; Смирнов, А. В.; Сякина, С. Д.; Гребенников, А. И.; Кисин, В. В.