Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 91 Автор(ы) : Мустафаев А. Г., Савинова А. М., Мирзаева П. М. Заглавие : Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 20-23: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 23 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Современные технологические процессы формирования структур интегральных элементов обеспечиваются использованием низкотемпературных неравновесных импульсных и радиационно-стимулированных технологических операций. Решение задачи управления технологическими процессами основывается на понимании взаимосвязи между свойствами изделий, особенностями технологии их изготовления и характеристиками оборудования, с помощью которого реализуется эта технология. Разработанные подходы управления технологическими процессами позволяют исключить субъективный фактор и повысить эффективность систем управления. Показано, что основными технологическими операциями, существенно влияющими на выходные характеристики интегральных элементов при их производстве, являются ионная имплантация, отжиг, травление. Исследование и моделирование процессов на этих операциях позволяют выработать рекомендации по управлению и разработать алгоритмы эффективного управления технологическими процессами формирования структур интегральных элементов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Савинова, А. М.; Мирзаева, П. М.