Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 25 Автор(ы) : Раткин Л. С. Заглавие : Современные технологии производства МЭМС Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 23-24. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: В 2011 году в Москве Русской ассоциацией разработчиков, производителей и потребителей микроэлектромеханических систем (МЭМС) был организован Международный форум, посвященный современным технологиям производства и перспективам развития МЭМС-устройств, на котором были представлены результаты научных исследований ведущих организаций по приоритетным направлениям развития отрасли Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН