Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А. Заглавие : Повышение стабильности тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 21-26: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 26 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрено повышение стабильности тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.; Васильев , В. А.