Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 68 Автор(ы) : Королева В. А., Болтунов Д. В., Жуков А. А. Заглавие : Оценка характеристик микроразмерных слоистых исполнительных элементов устройств микросистемной техники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 42-45: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 45 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Проведена расчетно-экспериментальная оценка характеристик подвижных исполнительных элементов электростатических актюаторов: деформации от нагрузки, с последующим расчетом их изгибной жесткости, модуля Юнга конструкционного материала, электрического напряжения срабатывания. Показано, что с увеличением толщины слоя никеля возрастают расчетно-экспериментальные значения изгибной жесткости конструкции. Установлено, что напряжение срабатывания уменьшается при уменьшении толщины слоя никеля. Измеренные значения превышают расчетные, что может быть связано с особенностями технологии изготовления Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Болтунов, Д. В.; Жуков , А. А.