Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 58
Автор(ы) : Гурович Б. А., Приходько К. Е., Талденков А. Н., Домантовский А. Г., Комаров Д. А., Кутузов Л. В.
Заглавие : Создание металлических нанопроводов методом селективного удаления атомов и исследование их свойств
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 41-45: табл., рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 45 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: В работе исследованы электрические свойства пленок металлов, восстановленных из оксидов методом селективного удаления атомов под действием протонного облучения. Установлено, что электрические характеристики восстановленных пленок соответствуют характеристикам осажденных пленок чистых металлов. Продемонстрирована возможность создания нанопроводов в матрице оксида методом облучения через маску из ПММА. Созданы единичные нанопровода, а также пары нанопроводов из висмута. Измерены электрические характеристики как отдельных нанопроводов, так и токи утечки между близко расположенными проводами. Показана возможность создания методом СУА изолированных нанопроводов на расстоянии 70 нм
Держатели документа:
Центральная научная библиотека УрО РАН

Доп.точки доступа:
Гурович, Б. А.; Приходько, К. Е.; Талденков, А. Н.; Домантовский, А. Г.; Комаров, Д. А.; Кутузов, Л. В.