Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 17 Автор(ы) : Гурович Б. А., Приходько К. Е., Талденков А. Н., Якубовский А. Ю., Маслаков К. И., Комаров Д. А., Кутузов Л. В., Федоров Г. Е. Заглавие : Разработка ионно-пучкового метода изготовления кремниевых нанопроводов Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 90-93: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 93 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Предложен новый метод изготовления кремниевых нанопроводов на поверхности стандартной кремниевой пластины с помощью ионного облучения через литографическую маску. Изучены условия синтеза оксида кремния при облучении кремниевой подложки протонами с энергий ~1 кэВ. Продемонстрирована возможность синтеза оксида кремния в области геометрической тени под формируемым монокристаллическим кремниевым нанопроводом Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Гурович, Б. А.; Приходько, К. Е.; Талденков, А. Н.; Якубовский, А. Ю.; Маслаков, К. И.; Комаров, Д. А.; Кутузов, Л. В.; Федоров, Г. Е.