Вид документа : Шифр издания : 620.3/М 61 Автор(ы) : Головицын И. В., Амеличев В. В., Панков В. В., Сауров А. Н. Заглавие : Миниатюрный тензорезистивный преобразоватеаь давления с высокой чувствительностью Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 26-29: рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 29 (19 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тензорезисторы--технология поверхностной микрообработки--преобразователи давления миниатюрные Аннотация: Описана разработка технологического маршрута и изготовление миниатюрного преобразователя давления на КНИ-структуре, предложенного ранее. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из поликристаллического кремния. Структура преобразователя формируется с помощью технологии поверхностной микрообработки с применением односторонней обработки пластины. Изготовлены два варианта преобразователя - с кольцевым концентратором напряжений на мембране, сформированным из пассивирующего слоя толщиной 1,2 мкм, и без концентратора. Проведены измерения основных параметров преобразователя при температуре +20, -50 и +60 °С. Оба варианта демонстрируют чувствительность около 24 мВ-(В•атм)-1. Проведен анализ параметров преобразователей с точки зрения влияния технологических факторов Доп.точки доступа: Головицын, И. В.; Амеличев, В. В.; Панков, В. В.; Сауров, А. Н.