Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-22 Заглавие : Оборудование для сборки изделий микросистемотехники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 15-21: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 21 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ