Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 59 Автор(ы) : Тимошенков С. П., Калугин В. В., Кочурина Е. С., Анчутин С. А., Калинин В. А., Строганов К. А. Заглавие : Микроакселерометры на различные диапазоны измерения линейных ускорений для систем инерциальной навигации Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 32-35: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 35 (9 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометр емкостной--мэмс--микроакселерометры Аннотация: Рассмотрены микромеханические акселерометры, имеющие потенциально широкую область применения. Разработаны микроакселерометры с емкостной системой измерения перемещений чувствительного элемента, достоинством которой является высокая чувствительность, простота конструкции и технологии изготовления Доп.точки доступа: Тимошенков, С. П.; Калугин, В. В.; Кочурина, Е. С.; Анчутин, С. А.; Калинин, В. А.; Строганов, К. А.