Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 73 Автор(ы) : Пинаев В. В., Суханов В. С., Панков В. В., Михайлов Ю. А., Данилова Н. Л., Былинкин С. Ю., Гаврилов А. А., Шипунов А. Н. Заглавие : Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 36-41: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 41 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчик давления--акселерометр--элемент чувствительный --стабильность параметров временная --испытания на безотказность Аннотация: На примере изготовления чувствительных элементов датчиков давления и акселерометров рассмотрены технологические методики, обеспечивающие повышение временной стабильности их параметров. Приведены результаты ускоренных испытаний на безотказность макетных образцов. Расчетно-экспериментальным путем определены показатели надежности датчиков Доп.точки доступа: Пинаев, В. В.; Суханов, В. С.; Панков, В. В.; Михайлов, Ю. А.; Данилова, Н. Л.; Былинкин, С. Ю.; Гаврилов, А. А.; Шипунов, А. Н.