Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/А 16 Автор(ы) : Абросимова Н. Д., Смолин В. К. Заглавие : Повышение информативности эллипсометрических измерений параметров гетероструктур "кремний-на-диэлектрике" Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 26-27. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 27 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): эллипсометрия--гетероструктуры--структуры кнд, кнс, кни Аннотация: Рассмотрены вопросы контроля приборных слоев полупроводниковых гетероструктур с использованием метода эллипсометрии. Показана информативность разработанных методик Доп.точки доступа: Смолин, В. К.