Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/В 64 Автор(ы) : Мальцев П. П., Лисицкий А. П., Павлов А. Ю., Щаврук Н. В., Побойкина Н. В., Хачатрян В. Д. Заглавие : Возможности формирования МЭМС-варакторов с электростатическим управлением в GaAs-технологии Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 28-33: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 33 (21 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): варактор --варактор с переменной площадью--радиочастота--варактор с переменным диэлектриком-- система на кристалле --варактор с переменным зазором--мис--мэмс Аннотация: Приведен обзор возможных технических решений варакторов, выполненных в виде конденсаторов переменной емкости по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Дана оценка пригодности этих решений и возможности их изготовления на подложках арсенида галлия в целях обеспечения интеграции МЭМС-варакторов с СВЧ приборами на одном кристалле с использованием одних технологических приемов. Данная интеграция позволит создавать систему на кристалле (СнК), что обеспечит экономическую выгоду и уменьшит размеры системы в целом Доп.точки доступа: Мальцев, П. П.; Лисицкий, А. П.; Павлов, А. Ю.; Щаврук, Н. В.; Побойкина, Н. В.; Хачатрян, В. Д.