Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 12 Автор(ы) : Бабуров В. А., Павлов А. Ю. Заглавие : Исследование и разработка прецизионных конденсаторов, работающих в сантиметровом и миллиметровом диапазонах длин волн Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 10. - С. 36-39: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 39 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование--нитрид кремния--конденсаторы тонкопленочные--s-параметры Аннотация: Представлены результаты разработки и измерений S-параметров тонкопленочных конденсаторов. Конденсаторы формируются на подложках из арсенида галлия. На основе полученных данных удалось с помощью специального программного обеспечения смоделировать конденсаторы различной топологии, работающие на частотах до 40 ГГц Доп.точки доступа: Павлов, А. Ю.