Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/У 59 Автор(ы) : Митин В. С., Орлов В. К., Сергеев В. М., Митин А. В., Краснобаев Н. Н., Спиваков Д. Д., Зиновьев О. И. Заглавие : Универсальная вакуумная установка ВММР-МЭШ для нанесения покрытий из многокомпонентных материалов, в том числе в наноструктурном состоянии, и получения нанопорошков Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 4. - С. 88-101: рис., табл. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498 Примечания : Библиогр.: с. 101 (11 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вммр--оборудование для магнетронного распыления--нанопокрытия --нанопорошки-- нанопокрытия многокомпонентные Аннотация: Предлагается инновационное оборудование высокомощного магнетронного распыления ВММР-МЭШ), обеспечивающее распыление с плотностью мощности плазменного разряда до 500 Вт/см 2 на плоских и до 1500 Вт/см 2 на коаксиальных (трубчатых) системах. Оборудование позволяет получать различные типы нанопокрытий, включая многослойные и нанопорошки на промышленном уровне. Описан эффект равноскоростного распыления различных материалов с мозаичных мишеней при высокомощном магнетронном распылении (ВММР). Показано, что предложенное оборудование существенно облегчает получение многокомпонентных нанопокрытий с желаемыми свойствами и обеспечивает существенные технические и экономические преимущества по сравнению с другими методами РVD. Представлены примеры полученных нанопродуктов Доп.точки доступа: Митин, В. С.; Орлов, В. К.; Сергеев, В. М.; Митин, А. В.; Краснобаев, Н. Н.; Спиваков, Д. Д.; Зиновьев, О. И.