Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 87 Автор(ы) : Маклаков С. С., Маклаков С. А., Рыжиков И. А., Розанов К. Н., Осипов А. В., Набоко А. С., Амеличев В. А., Куликов С. В. Заглавие : Структура и СВЧ магнитная проницаемость тонких пленок кобальта Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 5-6. - С. 65-69: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр.: с. 69 (29 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки тонкие--текстура кристаллографическая--проницаемость магнитная--кобальт--распыление магнетронное Аннотация: Обнаружено увеличение частоты ферромагнитного резонанса от 3 до 5.5 ГГц в тонких пленках Co при увеличении размера кристаллитов от 6 до 70 нм. Изменение структуры достигается увеличением скорости нанесения металла от 4.2 до 7.1 нм/мин при магнетронном распылении на постоянном токе. Пленки Со обладают одноосной кристаллографической текстурой. Положение оси текстуры меняется в зависимости от параметров нанесения Со, что влияет на планарную магнитную анизотропию. Предложена модель, описывающая обнаруженные изменения Доп.точки доступа: Маклаков, С. С.; Маклаков, С. А.; Рыжиков, И. А.; Розанов, К. Н.; Осипов, А. В.; Набоко, А. С.; Амеличев, В. А.; Куликов, С. В.