Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 65 Автор(ы) : Амеличев В. В., Буданов В. М., Гусев Д. В., Михайлов Ю. А., Соколов М. Э., Суханов В. С., Тихонов Р. Д. Заглавие : Конструкция и технология создания матриц преобразователей давления для эндоскопических тактильных датчиков Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 11. - С. 27-30: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 30 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчик тактильный интегральный--преобразователь тензорезистивный Аннотация: Разработана и исследована новая конструкция кристаллов матриц интегральных преобразователей давления МИПД-7для тактильных датчиков на основе плоских кремниевых мембран с тензорезистивными преобразователями. Тактильные датчики на основе МИПД-7 прошли полный цикл клинических испытаний в составе эндохирургической аппаратуры Доп.точки доступа: Амеличев, В. В.; Буданов , В. М.; Гусев, Д. В.; Михайлов, Ю. А.; Соколов , М. Э.; Суханов, В. С.; Тихонов , Р. Д.