Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Н 61 Автор(ы) : Ефременко А. М., Корляков А. В., Асташенкова О. Н., Кривошеева А. Н. Заглавие : Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 30 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): текстура--пленки тонкие--нитрид алюминия--распыление магнетронное--пленки пьезоэлектрические--напряжения механические Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении Доп.точки доступа: Ефременко, А. М.; Корляков, А. В.; Асташенкова, О. Н.; Кривошеева, А. Н.