Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 89 Автор(ы) : Кузнецова М. А., Лучинин В. В. Заглавие : Формирование карбидокремниевых автоэмиссионных острий методом остросфокусированного ионного пучка Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 35-40: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 40 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пучок ионный--диод--травление ионно-стимулированное--осаждение ионно-стимулированное--эмиссия автоэлектронная--карбид кремния Аннотация: Представлены результаты комплексного анализа возможностей и ограничений на применение остросфокусированного ионного пучка для объектов микросистемной техники (МСТ) и различных методов исследований. Детально проанализированы особенности применения данной технологии на примере создания карбидокремниевых автоэмиссионных острий и диодных структур на их основе Доп.точки доступа: Лучинин, В. В.