Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Р 24 Автор(ы) : Ветров А. А., Корляков А. В., Сергушичев А. Н., Сергушичев К. А. Заглавие : Расчет и измерения динамических параметров наноразмерных колебаний микро-мембранных элементов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 48-54: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 54 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): модель математическая--элемент микромембранный--чувствительность--частота резонансная--система оптико-электронная измерительная--интерферометр волоконно-оптический Аннотация: Приведены математическая модель и результаты расчетов параметров микромембранных элементов, изготавливаемых с применением технологий микросистемной техники. Разработана экспериментальная установка на основе волоконно-оптического торцевого интерферометра для высокоточных бесконтактных измерений чувствительности микромембранных элементов. Предложена методика и измерены частотные зависимости чувствительности микромембранных элементов Доп.точки доступа: Ветров, А. А.; Корляков, А. В.; Сергушичев, А. Н.; Сергушичев, К. А.