Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 88 Автор(ы) : Бройко А. П., Ленчук О. С. Заглавие : Анализ теплового состояния микросенсора, созданного на основе тонкопленочных технологий Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 45-48: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 48 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросенсер--состояние тепловое--технологии тонкопленочные Аннотация: Представлен анализ теплового состояния микросенсора, изготовленного на основе тонкопленочных технологий. Рассмотрены модельные задачи о стационарном нагреве тонкой мембраны, нестационарном охлаждении тонкой мембраны, минимальной площади сенсора, связанной с флуктуационным пределом. Определено, что для воздуха, если тепловой сенсор работает на максимальных скоростях регистрации (т. е. порядка времени тепловой релаксации), его площадь не может быть меньше 400 нм 2 Доп.точки доступа: Ленчук, О. С.