Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/К 17 Автор(ы) : Бодунов Д. С., Заблоцкий А. В., Гавриленко В. П., Кузин А. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Заглавие : Калибровка просвечивающих электронных микроскопов с помощью ГСО 10030—2011 Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 11-13: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 13 (3 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроскоп просвечивающий электронный jem-2100 --калибровка--образец стандартный--неопределенность измерений при калибровке Аннотация: Изложены результаты калибровки просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100 с помощью стандартного образца ГСО 10030—2011, разработанного и изготовленного в Научно-исследовательском центре по изучению свойств поверхности и вакуума, при номинальном значении увеличения 30 000 крат. Относительная расширенная (коэффициент охвата k = 2) неопределенность измерений при калибровке составила 0,5 % Доп.точки доступа: Бодунов, Д. С.; Заблоцкий, А. В.; Гавриленко, В. П.; Кузин, А. А.; Кузин, А. Ю.; Митюхляев, В. Б.; Раков, А. В.; Тодуа, П. А.; Филиппов, М. Н.