Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/М 74 Автор(ы) : Мокров Е. А., Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. Заглавие : Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 65 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тензоризисторные датчики--тензоэлемент--мэмс-структура Доп.точки доступа: Белозубов, Е. М.; Белозубова, Н. Е.