Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Г 83 Автор(ы) : Гридчин В. А., Чебанов М. А., Зиновьев В. Б. Заглавие : Численное моделирование при проектировании сенсоров давления Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 5-8: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 8 (17 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сенсор давления --сенсор давления тензорезистивный--чувствительность--нелинейность--прочность Аннотация: Рассмотрен вариант тензорезистивного сенсора давления с упругим элементом (УЭ) в виде квадратной мембраны, на планарной стороне которой сформированы четыре углубления. Определено влияние геометрических размеров углублений на деформацию УЭ и приведены оценки чувствительности, нелинейности и прочности УЭ нового типа. Получено теоретическое и экспериментальное подтверждение увеличения чувствительности сенсора давления на основе предложенного варианта УЭ на 30 % по отношению к традиционным сенсорам давления с плоской мембраной Доп.точки доступа: Чебанов, М. А.; Зиновьев, В. Б.