Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Г 21 Автор(ы) : Гаршин А. Я., Тучин А. В., Бормонтов Е. Н. Заглавие : Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 26 (4 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчик давления --компенсация электростатическая--мэмс--акселерометр--датчик дифференциального давления Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков Доп.точки доступа: Тучин, А. В.; Бормонтов, Е. Н.