Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/У 18 Автор(ы) : Уваров И. В., Наумов В. В., Амиров И. И. Заглавие : Резонансные свойства многослойных металлических нанокантилеверов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 29-32: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 32 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанокантилеверы--нанокантилеверы многослойные металлические--системы наноэлектромеханические--частота резонансная--рычаг световой--шероховатость Аннотация: Исследованы резонансные свойства трехслойных металлических кантилеверов, имеющих толщину 40 нм. Были изготовлены два типа кантилеверов: Cr—Al—Cr и Ti—Al—Ti. Резонансные частоты кантилеверов определялись по экспериментально полученным резонансным кривым. Возбуждение колебаний кантилеверов осуществлялось электрическими силами, для регистрации колебаний применялся метод светового рычага. Экспериментально получены зависимости первой и второй резонансных частот кантилеверов от длины и ширины. Проведен анализ экспериментальных данных, а также сравнение с результатами расчетов. Обсуждается связь резонансных свойств с формой и материалом нанокантилеверов Доп.точки доступа: Наумов, В. В.; Амиров, И. И.