Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 33 Автор(ы) : Землянников Н. С., Данилова Н. Л., Панков В. В., Суханов В. С., Михайлов Ю. А. Заглавие : Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 32-36: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 36 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мембраны кремниевые--преобразователи давления --преобразователи давления тензорезистивные--кристалл чэ давления--модуль чувствительного элемента давления (чэд) Аннотация: Приведены результаты исследования тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по микроэлектронной технологии на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран со встроенной защитой от перегрузки. Показаны преимущества разработанных преобразователей давления в сравнении с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром Доп.точки доступа: Землянников, Н. С.; Данилова, Н. Л.; Панков, В. В.; Суханов, В. С.; Михайлов, Ю. А.