Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/И 88 Автор(ы) : Никифоров С. В., Поломошнов С. А., Тихонов Р. Д., Черемисинов А. А. Заглавие : Исследование микросистемы с использованием преобразователей магнитного поля Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 36-37: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 37 (2 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): преобразователи магнитного поля --система микроэлектромагнитномеханическая--мэммс--микромагнит--микроперемещения--устройство мехатронное Аннотация: Проведено исследование макета микросистемы мехатронного устройства, изготовленного на магнитотранзисторных преобразователях. Установлено, что микросистема мехатронного устройства с кремниевой консолью, микромагнитом и магнитотранзисторным преобразователем позволяет проводить контроль микроперемещений и вибраций по изменению магнитного поля на резонансных частотах консоли с микромагнитом Доп.точки доступа: Никифоров, С. В.; Поломошнов, С. А.; Тихонов , Р. Д.; Черемисинов, А. А.